一種?微機電麥克風測試座系統(tǒng)的制作方法

mems(微機電系統(tǒng))麥克風測試系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，mems傳感器已經(jīng)成為一個重大的研究領(lǐng)域，主要有，mems麥克風傳感器、加速度傳感器、壓力傳感器、微流量傳感器、微流體傳感器、氣體傳感器等等。作為一個封裝好的傳感器來說，它包括，傳感器芯片以及asic電路。其中，隨著消費類電子的不斷發(fā)展，用于語音交互的產(chǎn)品不斷增多，mems麥克風傳感器的市場需求量不斷增大，其性能要求也不斷提高。mems麥克風的結(jié)構(gòu)和mems麥克風接口電路的性能對整個麥克風的性能有著重大的影響。這對批量生產(chǎn)的芯片來說，這就需要一個方便、良好的測試系統(tǒng)。

目前主要的測試方式有：

第一種：使用ni公司生產(chǎn)的pxi板卡組成虛擬儀器，搭配labview可編程軟件平臺。通過模組化、自動化實現(xiàn)對芯片的測試。

第二種：通過搭建特定的電路，將mems芯片安裝在電路板上進行測試。

第一種方法，雖然測試系統(tǒng)完備，測試全面，但是價格昂貴，維護成本高，操作較復(fù)雜。不適合實驗室中研發(fā)使用。第二種方法，雖然成本較低，需要我們不斷的焊接芯片，效率很低，可重復(fù)性很低。